胡松

男

研究员/博士生导师

028-85100564

husong@ioe.ac.cn

610209

四川成都双流西航港光电大道1号

测试计量技术及仪器，电子信息

微细加工装备整机及关键技术研究
微细加工装备是各种集成电路、芯片及各种微纳结构制造的母机，是信息化时代的基石。高端微细加工装备研制极具难度，代表了现代工业制造最高水平。
本研究领域是光电所特色研究领域之一，包括照明、物镜、对准、检焦、工件台等关键技术，以及整机控制、软件，集成、调试及性能检测等多项研究内容，涉及光学、机械、电控及软件多个学科方向，对基础理论及工程实践能力有极高的要求。