全海洋，男，1989年10月生，博士，副研究员，硕士生导师，中国科学院西部之光“西部青年学者”。

   本科毕业于长春理工大学，博士毕业于中国科学院大学。2012年至今一直在中国科学院光电技术研究所从事先进光刻制造与检测技术研究工作，致力于高端光刻检测技术及装备研制，主要研究方向包括光刻曝光系统像质检测技术、光刻镜面面形绝对检测技术、测量不确定度及工艺控制等。

   近5年承担或参与的科研项目包括：国家科技重大专项（02专项）、国家自然科学基金面上项目、国家重点研发计划、中国科学院西部青年学者、四川省重大科学仪器设备专项、四川省区域创新合作重点研发项目等。负责开发了一套基于检测技术支撑的创新超高精度计算全息基板研制工艺（透射波前达到0.1nm RMS），突破关键检测技术，使得光刻非球面计算全息检测技术已达到国际先进水平，顺利保障重大项目的完成。

   参加国内外学术会议20余次，并做特邀报告4次；国内外学术期刊发表论文近20篇，申请发明专利10余项；制定国家标准1份（《JJF 1739-2019数字式激光球面干涉仪校准规范》）。